Imina Technologies社の電子顕微鏡用ナノプロービングソリューション NANO – Robotics Solutions for Electron Microscopes
特徴
- ・作動距離が短い
- ・磁気浸漬イメージング
- ・傾斜角( 0°～ 55°)
- ・柔軟なプラットフォーム構成
- ・制御、測定、報告する1つのソフトウェア
- ・プローブホルダー：クイックチップ交換
- ・迅速な取り付けと取り外し
光学顕微鏡下でのソリューション
次のようなさまざまなソリューションがあります。
- ・標準プローブステーションに後付けする
- ・ウェーハ検査ツールと統合する
- ・光学顕微鏡およびAFMの下に取り付ける
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