製品情報line up
真空セミオートプローバ―
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真空セミオートプローバー
真空環境、ガス環境での極低温～高温の自動測定
～有機デバイス、パワーデバイスに～◎4インチ角までのサンプルサイズに対応した真空セミオートプローバです。（6インチもラインナップ追加予定）
◎多数デバイスを連続的に自動で測定できるので、効率的な測定が実施できます。
◎-190℃～+200℃のステージを搭載
◎設計上の到達真空度は1×10-3Pa台
◎真空環境とすることにより、高電圧測定での放電対策に有効。（パワーデバイスの高電圧測定）
◎セミオートプローバーAPシリーズと共通の、オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフトです。
◎モデルを使用して、ウェハの角度調整、XY位置の微調整を行うウエハアライメント機能を有しています。
◎GP-IB通信で、半導体パラメータアナライザなどの測定器、上位PCからセミオートプローバを制御することが可能です。
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