製品情報line up
パラメトリックテストヘッド
Keithley社のS530、S540等とフルオートプローバーをインターフェースするテストヘッドです。
ハイパワー系の3kV、100Aにも対応しています。
対応テスター : KeithleyS530、S540
ch数 : ~48ch(S/F96端子)
搭載実績プローバー: 東京精密UF3000 UF3000EX-e UF2000 / 東京エレクトロン PrecioXL
対応プローブカード: キーサイト4070/4080系テスタープローブカード / ケースレーS540用プローブカード