製品情報line up
ホット・サーモチャック
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ホットチャック・サーモチャック
加熱、冷却の温度制御可能なチャックステージ
◎50㎜、4インチ～12インチサイズまでラインナップしています。◎RT～+400℃、-55～+350℃の温度範囲でラインナップしています。
◎仕様によりヒーター、チラー、ペルチェを組合せて提案します。
◎微小電流測定から高電圧、大電流測定の仕様をラインナップしています。
◎DC電源の使用により、低ノイズとなっています。
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