高周波プローブの確実な コンタクトを実現する

固定方式：マグネット式又はネジ固定

ストローク量：X、Y、Z 各±6.5㎜

θ調整量：±5°

真直度：3μm

移動量：0.5ｍｍ/回転

マイクロメーター読み取り：10μｍ

各社RFプローブ装着可能