高精度に大きな移動量を実現する

固定方式：ＯＮ/ＯＦＦ付マグネット

ストローク量：X、Y、Z各±6.5㎜

真直度：3μm

移動量：0.5ｍｍ/回転

マイクロメーター読み取り：10μｍ