移動型処理室付きプラズマクリーニング装置　Mobile Cubic Asher (MCA)

製品情報line up

移動式プラズマ洗浄センターには、小さなチャンバーが搭載されており、SEM/TEMの試料/ホルダーやその他の部品を洗浄、保管、処理できます。 Qwk-Switch™搭載プラズマ発生器は、他のSEMやFIBの設置場所に移動でき、in-situでチャンバーの炭化水素除去が可能です。

MCAのチャンバーは、炭化水素除去が必要な試料を収容でき、可動式ステンレス製カートに搭載されたGV10xダウンストリームプラズマで、3つのTEMホルダーと試料を表面親水化、保管、洗浄できます。

この移動式洗浄装置は、スパッタリングや加熱をせず、効果的で信頼性の高いプラズマアッシングが可能です。動作はフロントパネルの3ポジショントグル（VENT-OFF-PUMP）で制御できます。明るいタッチスクリーンパネルから最新のibssソフトウェア使って、プラズマパラメーターの選択、設定も可能です。

Qwk-Switch™をSEM/FIBに装着すると、定期的なプラズマ洗浄でSEMチャンバー内に蓄積されたハードロカーボンを除去することで、電子ビームの劣化を防ぐことができます。 Mobile Cubic Asherは、1年未満で投資費用を回収できる、費用対効果の高い必須の資産です。

3ポジショントグルスイッチでの操作(VENT-OFF-ON)

タッチスクリーン – パラメーターの設定と操作

3つのTEMホルダーポートを備えたチャンバー

Qwk-Switch™型のプラズマ発生器は、in-situアッシングの際に複数のSEM間を数分で移動取り付け可能

プラズマ駆動ガスシリンダーをカートに搭載

ポリマー/有機試料のための還元性混合ガス