製品情報line up
マニュアルプローバー α200CS α300CS
-60℃～+350℃の温度特性評価、微小電流測定対応モデル
◎それぞれ8、12インチまでのウエハサイズに対応したマニュアルプローバです。
◎ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も結露しません。
◎コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能です。
◎ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。
◎プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。
◎ポジショナーは8個置くことができます。
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- アプリケーション
- 微小電流IV測定（ｆAレベル）
- CV測定
- 20kV/200Aレベルのハイパワー測定
- 高周波測定
- シート抵抗等の各種抵抗測定
- 高低温環境での温度特性試験
- TDDB等の信頼性試験
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- オプション
- -60～350℃のサーモチャック
- チャックのトライアキシャル接続
- チャックの高電圧・大電流対応化
- CCDカメラタイプへの変更
- プローブカード（4.5インチ角形基板）
- 光照射機構
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- 選べる光学系
- 実体顕微鏡（標準）
- 三眼実体顕微鏡
- ズームマイクロCCDカメラ
- 金属顕微鏡
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- 接続が想定される測定器
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- 半導体パラメータアナライザ
- パワーデバイスアナライザ
- ソースメジャーユニット
- カーブトレーサ
- LCRメータ
- デジタルマルチメータ
- インピーダンスアナライザ
- ネットワークアナライザ
- その他、各社の各種測定器
| α200CS | α300CS | |
| 対応ウエハサイズ | ～8インチ | ～12インチ |
| ステージXY 移動範囲（粗動） | X：200㎜ Y：200㎜ | X：320㎜ Y：320㎜ |
| ステージXY 移動範囲（微動） | X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜ | X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜ |
| ステージθ移動範囲 | ±5° | ±4° |
| プラテンZ軸粗動 | 0ｰ0.3ｰ5㎜（3段） | 0ｰ0.3ｰ5㎜（3段） |
| プラテンZ軸微動 | 10㎜ | 10㎜ |
| 外形寸法（W×D×H） | 690×780×620㎜ | 965×930×700㎜ |
| 重量 | 80㎏ | 165㎏ |
