製品情報line up
マニュアルプローバー α150 α200 α300
ウエハレベルの各種測定に対応したスタンダードモデル
◎それぞれ6、8、12インチまでのウエハサイズに対応したマニュアルプローバです。
◎チップの吸着固定にも対応しています。
◎ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。
◎プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。
◎使い勝手を含めて高い満足度を頂いています。
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- アプリケーション
- 微小電流IV測定（ｆAレベル）
- CV測定
- 20kV/200Aレベルのハイパワー測定
- 高周波測定
- シート抵抗等の各種抵抗測定
- 温度特性試験
- TDDB等の信頼性試験
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- オプション
- 室温～350℃のホットチャック
- チャックのトライアキシャル接続
- チャックの高電圧・大電流対応化
- シールドボックスとのセット
- レーザーカッターの搭載
- プローブカード（4.5インチ角形基板）
- 光照射機構
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- 選べる光学系
- 実体顕微鏡（標準）
- 三眼実体顕微鏡
- ズームマイクロCCDカメラ
- 金属顕微鏡
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- 接続が想定される測定器
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- 半導体パラメータアナライザ
- パワーデバイスアナライザ
- ソースメジャーユニット
- カーブトレーサ
- LCRメータ
- デジタルマルチメータ
- インピーダンスアナライザ
- ネットワークアナライザ
- その他、各社の各種測定器
| α150 | α200 | α300 | |
| 対応ウエハサイズ | ～6インチ | ～8インチ | ～12インチ |
| ステージXY 移動範囲（粗動） | X：150㎜ Y：200㎜ | X：200㎜ Y：200㎜ | X：310㎜ Y：345㎜ |
| ステージXY 移動範囲（微動） | X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜ | X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜ | X：±12.5㎜ Y：±12.5㎜ |
| ステージθ移動範囲 | ±5° | ±5° | ±4° |
| プラテンZ軸粗動 | 0ｰ0.3ｰ5㎜（3段） | 0ｰ0.3ｰ5㎜（3段） | 0ｰ0.5ｰ4㎜ （3段） |
| プラテンZ軸微動 | 10㎜ | 10㎜ | 10㎜ |
| 外形寸法（W×D×H） | 540×635×602㎜ | 540×635×602㎜ | 895×760 ×700㎜ |
| 重量 | 70㎏ | 70㎏ | 165㎏ |
