加熱、冷却の温度制御可能なチャックステージ
◎50㎜、4インチ～12インチサイズまでラインナップしています。

◎RT～+400℃、-55～+350℃の温度範囲でラインナップしています。

◎仕様によりヒーター、チラー、ペルチェを組合せて提案します。

◎微小電流測定から高電圧、大電流測定の仕様をラインナップしています。

◎DC電源の使用により、低ノイズとなっています。