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ホットチャック・サーモチャック

ホットチャック・サーモチャック

加熱、冷却の温度制御可能なチャックステージ
◎50㎜、4インチ~12インチサイズまでラインナップしています。

◎-55~+350℃の温度範囲でラインナップしています。

◎仕様によりヒーター、チラー、ペルチェを組合せて提案します。

◎微小電流測定から高電圧、大電流測定の仕様をラインナップしています。

◎DC電源の使用により、低ノイズとなっています。

  • ホットチャック・サーモチャック
  • ホットチャック・サーモチャック
  • オプション
    • 温度範囲による価格設定
    • チャックのトライアキシャル接続
    • チャックの高電圧・大電流対応化
    • 各種測定器接続に合わせた構造
    • 空冷、水冷の対応
製品名 型番 備考
ホットチャック 50㎜ホットチャック HC2 50㎜ 最大RT~200℃
4インチホットチャック HC4 4インチ 最大RT~350℃
6インチホットチャック HC6 6インチ 最大RT~350℃
8インチホットチャック HC8 8インチ 最大RT~350℃
12インチホットチャック HC12 12インチ 最大RT~350℃
サーモチャック 4インチペルチェ式サーモチャック TCP4 4インチ 最大-40~+125℃
8インチペルチェ式サーモチャック TCP8 8インチ 最大-20~+100℃
6インチチラー式サーモチャック TCC6 6インチ 最大-60~350℃
8インチチラー式サーモチャック TCC8 8インチ 最大-60~350℃
12インチチラー式サーモチャック TCC12 12インチ 最大-60~350℃

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