ケースレーインスツルメンツ様と共催しましたウェビナーの動画を公開いたします。

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近年、IoTの普及により、サーバー、センシングデバイスなど電子デバイスの利用は多岐におよび、それらの開発段階、あるいは市場でのデバイスの不良、故障解析が極めて重要になっています。この評価には種々の手法が必要であり、本セミナではユニークな高精度プロービング・ロボットを用いたナノ・メートル領域を任意に電気的評価可能な技術を紹介致します。

１．高精度プロービング・ロボットの概要、性能、制御方法

２．評価実施例

2-1. 半導体デバイスのI-V特性

2-2. 同定した故障部のRCI（EBIC/EBAC）像

2-3. MEMSデバイス特性評価への応用

2-4. その他の応用