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• 2021/03/18 真空プローバーMJ-8の液体窒素冷却ステージ仕様
• 2021/02/02 チップ裏面の光検出、裏面からの光照射ができるホットチャック
• 2020/08/21 SiCパワーデバイス向けの10kV対応セミオートプローバー