熱電デバイス評価用の温度差ステージ搭載真空プローバー
ステージに温度勾配を作って熱電デバイスを評価したいというご要望を頂きました。
通常の温度測定もされたいということで、ベースは液体窒素温度まで冷やせる通常ステージで、
その上に別ステージを製作、それぞれの部分を別ヒーターで個別温度制御することで、
うまく1℃差から80℃差までを作り出すことができました。
ご要望 ： プローバーのステージに温度勾配を作って熱電デバイスを評価したい。
提案 ： 液体窒素冷却と複数ヒーターによる部分コントロールで温度差を安定して作り出せるようにします。
結果 ： 1℃差から80℃差までの運用でサンプル側のエリア温度差を作り、日々熱電デバイスを評価されています。
ベース機種 ： MJ-10
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