GM冷凍機により4.2Kまで温度を下げることができる極低温プローバーシステムです。

4.2Kは冷凍機の能力ですので実際にはサンプルステージレベルでは5K程度となります。

チャンバーは熱シールド機構を持つ２重構造で温度を逃がしません。

プローバー本体、GM冷凍機、小型空冷ドライ真空ポンプ、冷凍機冷却用小型水槽付チラーのセットです。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

プローバー本体
＜メインチャンバー部＞
・真空容器　寸法φ250mm＊H150mm程度　（突起部を除く）
・光学窓部　パイレックス製　有効径φ50
（１STシールドにも窓施工）
・プローブ用BNCコネクター　（NW50フランジに6ヶ取付）
・拡張用ポート（NW40仕様）
＜冷凍機側真空容器部＞
・真空排気バルブ・安全弁・NW25予備ポート
・設置架台付属
W550mm＊D550*H570mm程度　キャスター付き
・顕微鏡ユニット（下記各１台）
・CCDカメラ
・モノクロスコープ
・LED照装置
・液晶モニター（２０”程度）
・固定アーム
・WD90mm　倍率２０～１２０倍（17″ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ時）

プローブ駆動用XYZマニュピレーター（真空対応）最大６個
・移動量　X軸　±25mm（チャンバー中心方向）
Y軸　±15mm（水平方向）
Z軸　±12mm（垂直方向）
・プローブ針　タングステン　φ0.5mm　先端20μm
・ダンパー付きプローブヘッド　SMAコネクター接続方式

0.5WGM冷凍機式冷却ステージ
・最低到達温度　１５K以下
・目標最低到達温度　５K近傍
・サンプルサイズ　最大□２０ｍｍ以下
・温度コントロール範囲　最低到達温度～３００K
・校正付きシリコン温度センサー　１ヶ設置
・温度コントロール精度　±0.15k
・ステージ電位はGND固定

ご検討の際は

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