マニュアルプローバにレザートリミング装置を搭載して300㎜ウエハ上のデバイスの抵抗値オフセット評価をしたいというご要望を頂きました。

ポイントはプロービングしたままレーザー照射箇所を移動させる必要がある点でした。

今回はTOWAレーザーフロント様とのコラボレーションでした。

 

ご要望　：　300㎜ウエハ上のデバイスにプロービングした状態で、チャックステージを移動せずにレーザー照射を行い抵抗値の変化を確認したい

提案　　：　チャックステージ可動部にプロービング用ポジショナーを搭載。また、レザーヘッド部とデバイス間のWDが短い為、プロービング用にプリズム方式の
顕微鏡を横からそのWDに入れる事を提案。

結果　　：　デバイスにプロービングしながら、レザー照射が可能になり、ご希望されていた測定をされています。

ベース機種　：　α300

 

＃マニュアルプローバー

＃レーザートリミング

 

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