卓上プローバー6インチステージ仕様
卓上プローバで6インチウエハを置けるような仕様で製作しました。
もちろんステージは動かないのでポジショナーを動かして任意の位置へプローブを移動する必要はあります。
ご要望 ： 卓上プローバーに6インチウエハを置いて測定したい。
提案 ： 50㎜□のステージをφ6インチまで拡大します。ポジショナーの置き方でプロービングエリアも面内をカバーできます。
結果 ： 6インチウエハを置いて使用されています。
ベース機種 ： MBP-55
組合わせた測定器：キーサイト・テクノロジー B1500A 半導体デバイス・パラメータ・アナライザ
＃マニュアルプローバー
＃簡易プローバー
