一つのプローバーで異なる目的の測定を行いたいという場合があります。

例えば高温測定もしたいし、デバイスの裏面発光をディテクターで取得したい、というような場合です。

本来は一つのチャックステージで両方の測定を実施できれば良いのですが、

ディテクターが高温では壊れてしまうというような諸条件がどうしても出てきてしまいます。

 

今回はマニュアルプローバα200にデバイスの裏面発光を取得するためのディテクターを装着したステージと、

300℃まで昇温できるホットチャックを並べることで両方の測定要求に対応しました。

 

 

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