テクトロニクス/ケースレーインスツルメンツ様のTDDB信頼性試験測定器と弊社マニュアルプローバーα200、多ch同時測定用プローブカードを組み合わせた、

酸化物薄膜の絶縁信頼性を評価するためのTDDB信頼性測定システムです。

測定系は2chシステムソースメーター2636B、2612A、スイッチングマトリクス707B、7174AをACSソフトウェアで統合、

マニュアルプローバーはα200に200℃まで昇温できるホットチャックと200℃対応のTDDB用プローブカードを組み合わせています。

※最大350℃まで昇温可能な仕様もございます。

 

多ch、多ピンで複数個所を同時にコンタクト、測定できますので非常に効率的です。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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