手動マニピュレータで小さな電極へコンタクトすることは非常に難易度が高いことです。

例えば5um以下の電極へプローブをコンタクトするには1000～2000倍程度の光学系と1um精度のマニピュレータが必要です。

さらに慣れた方でないとなかなか難しいのではないでしょうか？

 

弊社が取り扱っているImina Technologies社ナノプロービングソリューションの製品ラインナップには

ナノレベルはいらないけれど、サブミクロンの動きが欲しいという時に最適な

MICRO Product Line

というものがあります。

 

 

 

ピエゾで動作させるプローブロボットを外部からコントローラーで動かすのですが、

その動作精度がサブミクロンで、1um程度の電極に余裕でコンタクトできますよ、という製品です。

 

マイクロLEDの評価、また非常に微小化しているTEGの評価など、

弊社の

マニュアルプローバーαシリーズ

と組み合わせて提案することが可能です。

 

詳しくは

こちらからお問合せ下さい。

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