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     真空プローバー  



 有機デバイス・MEMSデバイス
 材料の研究開発向けプローバー

  • 真空度は10-3paに対応
  • ステージがXYにそれぞれ50mm動きます。
  • 信号取り出し方法は個別使用に対応
  • 微小電流も測定可能
  • 多ピン対応のプローブカード型もございます。

 




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