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トッッページ > 製品情報 > メジャージグ製品情報 > シールドケース&ステージ&ポジショナ SM-1A

シールドケース&ステージ&ポジショナ
SM-1Aは、半導体素子等の試料を簡便、安価に測定することを目的に開発された装置で、シールドケース、ステージ、ポジショナ(プローブ)、入出力端子等で構成され、軽量、小型に作られております。 シールドケースは、外部からの「光」「ノイズ」等を軽減、遮断し、その影響を抑え、より良い環境での測定が可能になります。 ステージには試料固定のための吸着穴を設けてあり、スイッチON,OFFで解除、吸着を簡単に行うことができます(真空ポンプはオプション)。また特殊仕様として、ホットステージ(20mm角)付き、ステージの上下作動可能型、ステージ本体のパージ対応品もございます。
超小型、軽量のため、机上での測定および移動が容易です。
測定試料(素子)をシールドすることにより、試料への光の影響およびノイズに対し軽減ができます。
オプションで最大4 台のポジショナ(探針)が装着可能です。
本器にはパージ用の取り入れ口があります。
本器はコネクタは絶縁型BNCを使用しています。各BNCコネクタをデジスイッチの切り換えで単独でグランド( 接地)にできます。

SM-1A

SM-1A/SM-1ATXA基本仕様
外形寸法300(W)× 300(D)× 100(H)
重量約5Kg
入力端子絶縁型BNC-R 5 個(1 個はステージ用)
TRIAXIAL(TXA)5 個(1 個はステージ用) Model SM-1ATXA
真空ポンプ用コネクタワンタッチコネクタ(6mm)
ステージ寸法 φ 60mm(試料台)
パージ用コネクタ6mm(N2 ガス等を入れます)
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