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多目的真空プローバ & システム
MJ-10は、多種多様な材料の解析を、様々な条件下で簡便、安価に行えるよう開発された小型真空チャンバです。小型のため机上での測定が容易であり、本体重量も軽く、移動が簡単にできます。特に、真空中でのプローブ操作を外部から操作可能です。また、ステージは熱量が大きいため、プロービング時の熱損失が少なく、微小電流測定に威力を発揮します。
本体はシールド効果が高く、光、ノイズをシャットアウトします。 本機のMJ−10型を基本とし、お客様のニーズにあわせた、光透過型、冷・加温コントロール可能型等、数種をシリーズ化し、特殊仕様品にも対応いたしておりますのでご相談ください。
また、各種のオプション品を多数用意し、お客様の利便性を図り、様々な用途に応じたシステム構成ができるように配慮いたしております。

MJ-10

MJ-10標準型基本仕様
外形寸法、重量420W×420D×305H ※1(540H ※2)、約16Kg
チャンバー外形寸法&内容積216φ×125H、2.6L
ステージ寸法60φ
チャンバー内真空度1.333×10−3 Pa(10−5 Torr) ※3
チャンバー材質アルミニュウム
外部操作型ポジショナ外形寸法 型式UMC-2PA ※4:80W×260L×80H
ポジショナ本体移動調整量(粗調)X:左右各20mm、Y:20mm
ポジショナ・プローブ調整量(微調)X:8mm、Y:5mm、Z:5mm ※5
精密針(タングステン材)W26-05-10×11/2、先端25μR
真空引き口NW40
付帯部品メインバルブ:22032-KA01、リーク/ガス置換弁:SS20VS4(1/4”)
※1:高さはゴム足を含む。
※2:真開蓋時の寸法。
※3:真空圧は排気装置に依存します。
※4:記載寸法は単体時の寸法です。
※5:プローブホルダー先端、XZ方向の移動は円弧運動となります。
MJ-10システム構成図

MJ-10システム構成図

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