HOME 会社概要 製品情報 NEWS 採用・お問い合わせ
  トップページ製品情報>ホットチャック
チャックシステム
 ホットチャックシステム  
 <12インチ用対応ホットチャック>



<温度分布>

  TDDB・EM等でのRT〜350℃の高温測定ニーズにお応えします 
独自に設計したホットプレート、温度コントローラーにより高精度温度コントロール温度分布を実現しました。チャックトップにはセラミックを使用しており、熱ひずみが小さく、多点プロービングに最適です。
当社のアルファシリーズ・マニュアルプローバーと組み合わせることにより
低リーク高温測定が可能です。また、お手持ちのプローブステーションへのホットチャック搭載のご提案も承っております。 
<温度コントローラー>   <用途例1>
12インチTDDB測定用
マニュアルプローバーに搭載

 
 サーモチャックシステム  

標準使用温度範囲:-55℃〜+350℃
αシリーズのプローバに搭載して高低温環境の測定にご使用頂けます。

<用途例2>
α200CSとの組み合わせ
*各チャックとも高電圧測定、多点測定、基板材料等
測定内容により、チャックトップの材質、色、メッキ等を決定いたします。
  

 
Copyright (c) 2010 APOLLOWAVE Corporation. All rights reserved.H